根據廢氣的性質和處理過程，有多種揮發性有機化合物廢氣處理設備。
常見的vocs處理設備有：
1.活性炭吸附設備與催化燃燒
該凈化裝置是根據吸附(高效)和催化燃燒(節能)兩個基本原理設計的，即吸附濃縮-催化燃燒法。
含有有機物的廢氣經風機作用后通過活性炭吸附層，通過活性炭的特殊作用力將有機物吸附在內部，排出清潔氣體；當活性炭經過一定時間達到飽和狀態時，吸附停止，有機物已經被活性炭濃縮。
本發明設置加熱室，啟動加熱裝置，進入內循環；當熱氣源達到有機分子的沸點時，活性炭中的有機分子揮發并進入催化室催化分解成水和二氧化碳，同時釋放能量。在此過程中，所釋放的能量進入吸附床內，加熱裝置完全停止工作，有機廢氣在催化燃燒室內保持自燃，尾氣循環再生，直到有機物與活性炭完全分離并在催化室內分解。活性炭再生，有機物分解。
2.蓄熱式熱力焚化爐
把有機廢氣加熱升溫至760℃，使廢氣中的VOC氧化分解,成為無害的CO2和H2O；氧化產生的高溫氣體流經特制的陶瓷蓄熱體，使陶瓷體升溫而“蓄熱”，此“蓄熱”用于預熱后續進入的有機廢氣，從而節省廢氣升溫的燃料消耗。
3.光催化氧化設備
光催化氧化廢氣除臭設備是一種處理工業廢氣及異味及惡臭氣體的高效凈化設備，其使用特制的高能量高臭氧UV紫外光束照射廢氣，能將氨氣、硫化氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳、苯乙烯、VOC類等分子鏈結構裂解，使有機或無機大分子惡臭化合物分子鏈在高能紫外光束照射下降解轉化為低分子化合物。
4.低溫等離子設備
低溫等離子體技術是近年來發展起來的一項廢氣處理新技術，其核心是利用低溫等離子體產生高能電子，將各種有害有機因子直接分解成各種工業廢氣中的有機因子，使之迅速形成小分子碎片，可降解成CO2、H2O等，從而實現對車間生產廢氣的全面降解。
在世界范圍內，大約93%(18億)的18歲以下兒童存在健康問題，甚至因呼吸污染空氣而過早死亡。該報告顯示，2016年60萬兒童因空氣污染而急性呼吸道感染。根據南京大學的研究，2013年中國74個主要城市PM2.5與死亡人數的三分之一有關聯。
工業生產中二氧化硫、氮氧化物和有機化合物的排放是治理霧霾的主要手段。企業應對揮發性有機化合物廢氣處理負主要責任。除工業企業外，VOC排放源較多，應嚴格控制汽車尾氣的排放，VOC是產生PM2.5的主要化學物質。
